真空計・壓力控制器是什麼

真空計・壓力控制器是量測腔體內壓力，並控制至目標值的零件群。從大氣壓到 10⁻⁸Pa 無法只以 1種原理涵蓋，因此依壓力範圍分別使用膜片式的電容式壓力計、利用熱傳導的皮拉尼真空計，以及利用電離的電離真空計。壓力控制器的角色是依據量測值調整節流閥開度，使壓力保持一定；由於蝕刻速率與沉積速率強烈依賴壓力，這種穩定性直接支撐著製程的再現性。