Baratron 627Hとは
Baratron 627H は、MKS の加熱型（45°C）絶対圧キャパシタンスマノメーターです。ダイヤフラムのたわみを静電容量の変化として測り、ガスの種類に関係なく全圧を直接測定します。半導体製造装置のプロセスチャンバーの圧力計測に使われます。
45°C に温度制御されており、読み値の 0.12% の精度を持ちます。改良した温度制御電子回路で長期安定性と再現性を高めています。フルスケールは 20mTorr（0.02Torr）から 25,000Torr までそろい、低圧を精密に測れます。
接ガス部はすべて耐食性のインコネルで、特許の一体型サンプ構造がパーティクルからセンサーを守ります。0〜10VDC のアナログ出力を持ち、ヒーターと温度の状態を示す LED・スイッチもオプションで選べます。前身の 627F の後継機です。
主な特長
- •45°C 温度制御、読み値の 0.12% 精度
- •フルスケール 0.02〜25,000Torr
- •全インコネルの接ガス部、一体型サンプ
- •ガス種に依存しない全圧の直接測定
主な仕様
| 測定方式 | キャパシタンスマノメーター（45 ℃加温） |
|---|---|
| 測定範囲 | フルスケール 0.02 ～ 25,000 Torr |
| 特徴 | 精度 0.12% of Reading・接ガス部インコネル |
| 主要用途 | プロセスチャンバーの圧力測定 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | MKS InstrumentsBaratron® 627H | ULVAC（アルバック）CCMT-D シリーズ |
|---|---|---|
| 測定方式 | キャパシタンスマノメーター（45 ℃加温） | セラミックキャパシタンスマノメーター |
| 測定範囲 | フルスケール 0.02 ～ 25,000 Torr | CCMT-1D ／10D／100D／1000D |
| 特徴 | 精度 0.12% of Reading・接ガス部インコネル | セラミック膜で耐食性・温度補償回路内蔵 |
| 主要用途 | プロセスチャンバーの圧力測定 | 成膜装置・真空炉の圧力モニタ |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •プロセスチャンバーの圧力計測・制御
掲載カテゴリ
Baratron 627Hは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
MKS Instruments
ガス流量制御・圧力制御・RFパワー・プラズマ源など、半導体製造プロセスを支えるサブシステム機器の主要メーカー。Newport光学部門も保有。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06