Marathon CP 是住友重機械工業（Sumitomo Heavy Industries）美國子公司製造的低溫幫浦，配合半導體製造設備備有 8～20 吋共 8 種尺寸。
可快速排出氫與水蒸氣，採用不使用油的無油設計。用於在半導體製造設備中建立超高真空。
Marathon CP的特點與規格
住友重機械工業（Sumitomo Heavy Industries）・低溫幫浦
住友重機械工業（Sumitomo Heavy Industries）美國子公司製造的低溫幫浦，備有配合半導體製造設備的尺寸。
產品概要
主要規格
| 口徑 | 8 ～ 20 吋（8 種尺寸） |
|---|---|
| 特點 | 氫・水蒸氣的高速排氣・無油 |
| 主要用途 | 半導體製造設備的超高真空排氣 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
口徑 8～20 吋（8 種尺寸）
氫・水蒸氣的高速排氣
無油
主要用途
- 半導體製造設備的超高真空排氣
製造商
住友重機械工業（Sumitomo Heavy Industries）（總部：日本）