Marathon CPとは
Marathon CP は、住友重機械工業の米国子会社が製造するクライオポンプです。半導体製造装置に合わせて 8〜20 インチの 8 サイズをそろえています。
水素や水蒸気を速く排気でき、油を使わないオイルフリーです。半導体製造装置の超高真空をつくるのに使われます。
主な特長
- •口径 8〜20 インチ（8 サイズ）
- •水素・水蒸気の高速排気
- •オイルフリー
主な仕様
| 口径 | 8 ～ 20 インチ（8 サイズ） |
|---|---|
| 特徴 | 水素・水蒸気の高速排気・オイルフリー |
| 主要用途 | 半導体製造装置の超高真空排気 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | アルバック・クライオCRYO-U シリーズ | 住友重機械工業Marathon® CP |
|---|---|---|
| 口径 | 4 ～ 30 インチ（CRYO-U4H ～ U30H） | 8 ～ 20 インチ（8 サイズ） |
| 特徴 | 全ガス排気・液体窒素不要 | 水素・水蒸気の高速排気・オイルフリー |
| 主要用途 | スパッタ・イオン注入・蒸着装置の高真空排気 | 半導体製造装置の超高真空排気 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •半導体製造装置の超高真空排気
掲載カテゴリ
Marathon CPは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
住友重機械工業
産業機械の総合メーカー。極低温技術を応用したクライオポンプと冷凍機で世界大手であり、半導体製造装置の高真空排気系に広く採用されている。
クライオポンプのほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07