低溫幫浦是什麼

低溫幫浦（Cryopump）是讓氣體分子凍結・吸附在冷卻至極低溫的吸附面上以進行排氣的高真空幫浦。由於不是把氣體往外推出，而是儲存在內部的捕集式，排氣路徑上沒有可動部件，因此沒有振動，也沒有油的逆流。對水蒸氣與氬氣的排氣速度非常大，用於濺鍍設備、離子佈植機等需要 10⁻⁵Pa 以下的設備。儲存的氣體會達到飽和，因此需要定期升溫釋放的再生運轉，其所需時間會影響設備稼動率。