CRYO-U 系列是 ULVAC Cryogenics 的低溫幫浦（cryopump），以愛發科（ULVAC）的真空技術與 CTI 的極低溫技術為基礎開發而成。
口徑為 4～30 吋（CRYO-U4H～U30H）。可排出所有氣體，不需液態氮。用於在濺鍍、離子佈植、蒸鍍設備中建立高真空。
CRYO-U 系列的特點與規格
ULVAC Cryogenics・低溫幫浦
ULVAC Cryogenics 以愛發科（ULVAC）的真空技術與 CTI 的極低溫技術為基礎開發的低溫幫浦。
產品概要
主要規格
| 口徑 | 4 ～ 30 吋（CRYO-U4H ～ U30H） |
|---|---|
| 特點 | 全氣體排氣・不需液態氮 |
| 主要用途 | 濺鍍・離子佈植・蒸鍍設備的高真空排氣 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
口徑 4～30 吋
全氣體排氣
不需液態氮
主要用途
- 濺鍍・離子佈植・蒸鍍設備的高真空排氣
製造商
ULVAC Cryogenics（總部：日本）