CRYO-U シリーズとは
CRYO-U シリーズは、アルバック・クライオのクライオポンプです。ULVAC の真空技術と CTI の極低温技術をもとに開発されました。
口径は 4〜30 インチ（CRYO-U4H〜U30H）です。すべてのガスを排気でき、液体窒素が要りません。スパッタ、イオン注入、蒸着の装置で高真空をつくるのに使われます。
主な特長
- •口径 4〜30 インチ
- •全ガス排気
- •液体窒素不要
主な仕様
| 口径 | 4 ～ 30 インチ（CRYO-U4H ～ U30H） |
|---|---|
| 特徴 | 全ガス排気・液体窒素不要 |
| 主要用途 | スパッタ・イオン注入・蒸着装置の高真空排気 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | アルバック・クライオCRYO-U シリーズ | 住友重機械工業Marathon® CP |
|---|---|---|
| 口径 | 4 ～ 30 インチ（CRYO-U4H ～ U30H） | 8 ～ 20 インチ（8 サイズ） |
| 特徴 | 全ガス排気・液体窒素不要 | 水素・水蒸気の高速排気・オイルフリー |
| 主要用途 | スパッタ・イオン注入・蒸着装置の高真空排気 | 半導体製造装置の超高真空排気 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •スパッタ・イオン注入・蒸着装置の高真空排気
掲載カテゴリ
CRYO-U シリーズは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
クライオポンプのほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07