VALQUA ARMOR 是 VALQUA 針對乾式製程設備開發的高純度橡膠密封件，以獨家的橡膠改質技術製成。
微粒少且不含金屬。氣體不易穿透、釋氣也少，因此用於乾式蝕刻、CVD、灰化設備。
VALQUA ARMOR的特點與規格
VALQUA・O 形環・密封件
VALQUA 針對乾式製程設備開發的高純度橡膠密封件，微粒少且不含金屬。
產品概要
主要規格
| 材料 | 高純度橡膠（獨家橡膠改質） |
|---|---|
| 特點 | 低氣體穿透・低釋氣・不含金屬 |
| 主要用途 | 乾式蝕刻・CVD・灰化設備 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
低微粒・不含金屬
低氣體穿透・低釋氣
主要用途
- 乾式蝕刻・CVD・灰化設備的密封
製造商
VALQUA（總部：日本）