VALQUA ARMORとは
VALQUA ARMOR は、バルカーがドライプロセス装置向けに開発した高純度のゴムシールです。独自のゴム変性改質の技術で作られています。
パーティクルが少なく、金属を含みません。ガスを通しにくく、アウトガスも少ないため、ドライエッチング、CVD、アッシングの装置に使われます。
主な特長
- •低パーティクル・金属フリー
- •低ガス透過・低アウトガス
主な仕様
| 材料 | 高純度ゴム（独自のゴム変性改質） |
|---|---|
| 特徴 | 低ガス透過・低アウトガス・金属フリー |
| 主要用途 | ドライエッチング・CVD・アッシング装置 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | バルカー（Valqua）VALQUA ARMOR | DuPont（半導体材料）Kalrez® Sahara™ シリーズ（8085／8475） |
|---|---|---|
| 材料 | 高純度ゴム（独自のゴム変性改質） | パーフロロエラストマー（FFKM） |
| 特徴 | 低ガス透過・低アウトガス・金属フリー | 8475 は高温の熱プロセス向け白色品 |
| 主要用途 | ドライエッチング・CVD・アッシング装置 | エッチング・アッシング・CVD・熱処理 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •ドライエッチング・CVD・アッシング装置のシール
掲載カテゴリ
VALQUA ARMORは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
バルカー（Valqua）
シール材の国内大手。半導体製造装置向けにパーフルオロエラストマー（FFKM）製Oリングなど、プラズマ・腐食性ガス・高温に耐える真空シール製品を供給する。
Oリング・シールのほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07