O 形環・密封件是什麼

O 形環・密封件是密封真空腔體與氣體管路接合部的彈性密封零組件。在半導體領域不只要求不洩漏，還要求暴露於電漿或化學品時不產生分解生成物與微粒。依耐熱溫度、耐電漿性與使用氣體種類選用氟橡膠（FKM）、全氟彈性體（FFKM）、氟樹脂，並作為耗材定期更換。密封件劣化往往在以洩漏形式出現之前，就先以微粒增加的形式顯現，因此更換週期的管理直接關係良率。

重點整理

密封真空腔體與氣體管路接合部的彈性密封零組件
要求在電漿或化學品中不產生分解生成物與微粒
依耐熱性與使用氣體種類選用 FKM、FFKM、氟樹脂
劣化會比洩漏更早以微粒增加的形式出現

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