クリエイティブテクノロジー

静電チャック(ESC)とチャック用電源・制御装置の専業メーカー。半導体・FPD製造装置向けに、材質・電極構造・電源をセットで設計する吸着ソリューションを提供する。

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当サイトでの位置づけ

Semirai の装置部品カテゴリでは、静電チャックとその電源・制御を含めた吸着システムの専業メーカーとして位置づけられます。

企業の強み

静電チャック専業としての設計ノウハウ
チャック本体と専用電源を一体で供給
半導体・FPD双方の装置向け実績

主要製品・ソリューション

静電チャック

  • •静電チャック(ESC)
  • •ESC用電源・コントローラ
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