クリエイティブテクノロジー
静電チャック(ESC)とチャック用電源・制御装置の専業メーカー。半導体・FPD製造装置向けに、材質・電極構造・電源をセットで設計する吸着ソリューションを提供する。
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当サイトでの位置づけ
Semirai の装置部品カテゴリでは、静電チャックとその電源・制御を含めた吸着システムの専業メーカーとして位置づけられます。
企業の強み
静電チャック専業としての設計ノウハウ
チャック本体と専用電源を一体で供給
半導体・FPD双方の装置向け実績
主要製品・ソリューション
静電チャック
- •静電チャック(ESC)
- •ESC用電源・コントローラ
半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、クリエイティブテクノロジーを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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