当サイトでの位置づけ
Semirai の装置部品カテゴリでは、ファインセラミック技術を応用した静電チャックの主要サプライヤーとして位置づけられます。
企業の強み
ファインセラミックの成形・焼成技術
静電チャック（ESC）の主要サプライヤー
多孔質セラミック応用の独自技術
主要製品・ソリューション
装置用セラミック部品
- •静電チャック（ESC）
- •セラミック部材
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、TOTOを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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パッケージング・プラズマチャンバー部品・消耗品 のトピックで関連する用語です。
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