信越石英

高純度合成石英ガラスの専業メーカー。拡散炉用チューブ・ボート、エッチング装置用の石英リング・窓など、金属汚染を嫌うプロセスで使われる石英部材を供給する。CZ法のシリコン単結晶引き上げに使う石英るつぼも手がける。

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当サイトでの位置づけ

Semirai の石英・セラミック部品カテゴリでは、拡散炉・エッチング装置向け高純度石英ガラス部材のサプライヤーとして位置づけられます。

企業の強み

合成石英ガラスの高純度化技術

拡散炉用チューブ・ボートで高い実績

エッチング装置向け石英部材の量産供給

主要製品・ソリューション

石英ガラス部材

•石英チューブ・ボート
•石英リング・窓

石英るつぼ

•シリコン単結晶引き上げ用石英るつぼ

半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、信越石英を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

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