トーカロ（TOCALO）

溶射加工の国内最大手。半導体製造装置のチャンバー内部品にイットリア（Y₂O₃）などの耐プラズマ皮膜を施し、パーティクル発生を抑えて部品寿命を延ばすコーティング・再生サービスを展開する。

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当サイトでの位置づけ

Semirai の消耗部品カテゴリでは、イットリア溶射に代表される耐プラズマコーティングと部品再生サービスの中核企業として位置づけられます。

企業の強み

溶射加工で国内最大手のシェア

イットリア系耐プラズマコーティング技術

使用済み装置部品の洗浄・再生サービス

主要製品・ソリューション

表面処理・コーティング

•イットリア溶射
•耐プラズマコーティング
•装置部品再生

半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、トーカロ（TOCALO）を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

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