エピクエスト
2000年設立の結晶成長装置メーカー。小型研究用を含む MBE 装置、MOCVD 装置、液体原料供給 MOCVD 装置、高温 CVD 装置、面発光レーザー用酸化装置を製造し、エピタキシャルウエハも扱う。
日本・装置メーカー・公式サイト ↗
当サイトでの位置づけ
Semirai の成膜装置カテゴリでは、化合物半導体の研究開発向けに MBE と MOCVD の装置を作る国内メーカーとして位置づけられます。
企業の強み
MBE と MOCVD の両方式に対応
研究用の小型装置からマルチチャンバ構成まで
面発光レーザー用酸化装置など化合物デバイス向け周辺装置
主要製品・ソリューション
結晶成長装置
- •MBE装置
- •MOCVD装置
- •高温CVD装置
プロセス装置
- •面発光レーザー用酸化装置
- •KOHエッチング装置
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、エピクエストを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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