RC1100とは
RC1100 は、エピクエストの研究用 MBE（分子線エピタキシー）装置です。低価格・省スペースで高性能な研究用 MBE として位置づけられ、個人やスモールスケールの研究でも本格的な結晶成長研究ができるように設計されています。
MBE は、超高真空中で原料を分子線として基板に照射し、原子層レベルで結晶を成長させる手法です。RC1100 は新材料の開発用途を想定しており、STM（走査トンネル顕微鏡）などの分析装置と組み合わせて使えます。
同社のラインアップには、より高度な研究や準量産向けで III-V 族・Si 系・金属系・II-VI 族に対応する RC2100／RC3100 と、8インチ以上の基板で ±1% 以下の均一な結晶成長を行う生産向けの RC6100 があります。
主な特長
- •低価格・省スペースの研究用 MBE
- •STM などの分析装置と組み合わせ可能
- •上位機 RC2100／RC3100／RC6100 のラインアップ
主な仕様
| 用途区分 | 小型研究用 |
|---|---|
| 主要用途 | 大学・研究機関の新材料開発 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •大学・研究機関の新材料開発
- •化合物半導体の結晶成長研究
掲載カテゴリ
RC1100は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
エピクエスト
2000年設立の結晶成長装置メーカー。小型研究用を含む MBE 装置、MOCVD 装置、液体原料供給 MOCVD 装置、高温 CVD 装置、面発光レーザー用酸化装置を製造し、エピタキシャルウエハも扱う。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06