ハーモテック
半導体ウェハとガラス基板の搬送用ロボットハンドを開発する。極薄ウェハ用のロボットハンドとアライナーチャック、TAIKOウェハ用ハンド、剥離後の薄ウェハを非接触で運ぶ搬送機構などを手がける。
日本・装置メーカー・公式サイト ↗
当サイトでの位置づけ
Semirai の工場内搬送カテゴリでは、真空吸着では割れてしまう極薄ウェハを扱うロボットハンドとアライナーチャックの開発元として位置づけられます。
企業の強み
極薄・反りウェハの搬送に特化したハンド設計
非接触搬送機構の技術と特許
ウェハローダーや反転移載まで個別要件に対応
主要製品・ソリューション
ウェハ搬送
- •極薄ウェハ用ロボットハンド
- •アライナーチャック
- •TAIKOウェハ用ロボットハンド
周辺機構
- •ウェハローダー
- •非接触搬送ユニット
- •反転移載機
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、ハーモテックを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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