日本フェンオール
火災検知器と温度センサ、流体制御機器を手掛けるメーカー。半導体製造装置向けには装置内の温度モニタリングや異常検知のためのセンサ・制御ユニットを供給する。
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当サイトでの位置づけ
装置の異常は温度の変化として先に出ます。Semirai の装置部品カテゴリでは、プロセスモニタと安全系の両方に関わるセンサ供給元として位置づけられます。
企業の強み
火災検知で培った高感度センシング技術
温度センサと流体制御を組み合わせた提案
産業装置向けの長期供給実績
主要製品・ソリューション
センサ
- •温度センサ
- •火災・異常検知センサ
制御機器
- •流体制御ユニット
- •モニタリングユニット
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、日本フェンオールを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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