プロセスモニター（EPD/OES）メーカー10社
プロセスモニターは、処理中のチャンバ内部の状態を実時間で観測するユニットです。発光分光（OES）はプラズマの発光スペクトルから反応種の量を追い、下地が露出した瞬間の発光変化を捉えてエッチングの終点（EPD）を判定します。四重極質量分析計（QMS）は残留ガス組成を、干渉式膜厚モニタは成膜・エッチング量をその場で測ります。レシピの時間で処理を切るのではなく、実際の反応の進み具合で切れるようになるため、ウェハ間のばらつきを抑える基盤になります。
主要特徴
メーカー
10社の主要メーカー
真空技術を核に、スパッタ・CVD・蒸着・エッチング・測定装置を手がける日本の総合真空機器メーカー。半導体に加えFPD・太陽電池にも展開。
- •真空ポンプからプロセス装置まで一貫した垂直統合
- •スパッタリング装置で国内トップクラス
光電子増倍管・フォトダイオード・イメージセンサーを手掛ける光半導体の世界的大手メーカー。半導体検査装置・医療機器・科学計測など幅広い分野に光デバイスを供給する。
- •光電子増倍管で世界トップシェア
- •フォトダイオード・イメージセンサー技術に強み
瞬時マルチ測光システムを核とする分光計測メーカー。分光方式の膜厚測定装置や光学特性評価装置を供給し、レジスト膜や薄膜の厚み・屈折率の測定に用いられる。
- •瞬時マルチ測光による高速分光測定
- •膜厚と光学定数を同時に評価
半導体製造装置向け真空ポンプ・計測機器の世界的リーダー。ターボ分子ポンプ・スクロールポンプ・ドライポンプなど幅広い製品ラインでALD・CVD・PVD・エッチング装置の真空環境を支える。
- •ターボ分子ポンプで世界最大手クラス
- •クリーンドライポンプによる汚染防止
接触式の表面温度計と熱電対を専門とする温度計測メーカー。装置チャンバ内の実温度を測るための熱電対付きウェハ（計装ウェハ）や、放射温度計・温度校正機を供給する。
- •接触式表面温度計の専業メーカーとして半世紀以上
- •熱電対の製作から温度校正までを自社で完結
火災検知器と温度センサ、流体制御機器を手掛けるメーカー。半導体製造装置向けには装置内の温度モニタリングや異常検知のためのセンサ・制御ユニットを供給する。
- •火災検知で培った高感度センシング技術
- •温度センサと流体制御を組み合わせた提案
CMOSイメージセンサ検査用光源装置の世界トップメーカー（東証プライム上場）。センサの感度・欠陥検査に使う標準光源とシステムを供給する。
- •CIS検査用光源装置で世界トップシェア
- •光源からシステムまで自社設計
計測と制御を軸にした自動化メーカー（旧・山武）。半導体工場ではクリーンルームの空調制御や、装置内の各種センサ・バルブを供給する。
- •計測・制御の専業メーカーとして長い歴史
- •クリーンルーム空調制御の実績
産業用ヒーター、温度センサ、コントローラを一貫して手掛ける米国メーカー。半導体製造装置向けには、加熱・計測・制御を統合したサーマルソリューションを供給する。
- •ヒーター・センサ・コントローラを垂直統合
- •半導体装置向けの専用ヒータ設計
エレクトロニクス商社とケミカルメーカーの複合企業。半導体製造装置と装置部品の輸入販売に加え、水処理薬品などの自社製品も持つ。
- •半導体製造装置・部品の輸入販売で長い実績
- •ケミカルメーカーとしての自社製品
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