当サイトでの位置づけ
チャンバのOリングはプラズマに曝され、劣化するとパーティクル源そのものになります。Semirai の装置部品カテゴリでは、その消耗品を材料から設計できるメーカーとして位置づけられます。
企業の強み
オイルシール・Oリングで国内トップシェア
ゴム材料の配合から自社で設計
防振ゴムなど振動系にも展開
主要製品・ソリューション
シール材
- •Oリング
- •オイルシール
- •真空用シール
機能部品
- •防振ゴム
- •ガスケット
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、NOKを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
FOR COMPANIES
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