Oリング・シールメーカー5社
Oリング・シールは、真空チャンバやガス配管の接合部を封止する弾性シール部品です。半導体では単に漏れないだけでなく、プラズマや薬液に曝された際に分解生成物やパーティクルを出さないことが求められます。フッ素ゴム（FKM）、パーフルオロエラストマー（FFKM）、フッ素樹脂を、耐熱温度・耐プラズマ性・使用ガス種に応じて選定し、消耗品として定期交換します。シールの劣化はリークとして現れる前にパーティクル増加として顕在化することが多く、交換周期の管理が歩留まりに直結します。
主要特徴
メーカー
5社の主要メーカー
シール材の国内大手。半導体製造装置向けにパーフルオロエラストマー（FFKM）製Oリングなど、プラズマ・腐食性ガス・高温に耐える真空シール製品を供給する。
- •フッ素系・パーフロ系シール材の材料技術
- •半導体装置向け耐プラズマOリングで高シェア
化学大手DuPontの電子材料部門。Low-k絶縁材・銅配線CMP材料・ArFフォトレジスト・半導体実装向け接着剤など先端材料を幅広く展開。
- •Low-k誘電体（Black Diamond）でインターコネクト材料のパイオニア
- •銅CMPスラリー・パッドの主要サプライヤー
オイルシールとOリングを主力とするシール専業メーカー。半導体製造装置向けには、プラズマ耐性やアウトガス特性を高めた真空シール材を供給する。
- •オイルシール・Oリングで国内トップシェア
- •ゴム材料の配合から自社で設計
メカニカルシールの総合メーカー。回転軸の封止に加え、特殊ガスや薬液を扱う配管系向けのシール・バルブ部品を供給する。
- •メカニカルシールで国内最大手
- •自動車から航空宇宙まで幅広い実績
電線・ケーブルと高性能シールを手掛けるメーカー。半導体製造装置向けには、プラズマ耐性と低パーティクル性を両立させた高機能シール材を供給する。
- •半導体製造装置向け高性能シールの専門ライン
- •フッ素ゴムなど耐プラズマ材料の開発力
関連カテゴリ
薬液ポンプ（ベローズポンプ）は、フッ酸や硫酸過水といった強腐食性の薬液を、金属汚染とパーティクルを持ち込まずに送液するポンプです。
メーカー 2 社チラー・温調機チラー・温調機は、冷媒や熱媒液を循環させて装置各部の温度を一定に保つユニットです。
メーカー 3 社ディスペンサディスペンサは、接着剤・アンダーフィル材・封止樹脂などの高粘度液体を、指定した位置へ定量吐出する装置です。
メーカー 5 社液・ガス用部品（継手・チューブ）液・ガス用部品は、装置内で薬液・純水・ガスを運ぶバルブ・継手・チューブ・フィルタといった配管部品の総称です。
メーカー 9 社オゾン水生成装置オゾン水生成装置は、高濃度のオゾンガスを超純水へ溶解させ、洗浄に使えるオゾン水を作る装置です。
メーカー 4 社