当サイトでの位置づけ
チャンバ部品の再生洗浄は、装置を止めずに回すための裏方でありながらパーティクル管理の要です。Semirai の装置部品カテゴリでは、その部品洗浄を専門に扱う企業として位置づけられます。
企業の強み
装置部材の精密洗浄で国内有数
シリコンウェーハの再生（リクレーム）
化学処理・無害化の技術基盤
主要製品・ソリューション
洗浄サービス
- •装置部材の精密洗浄
- •チャンバ部品の再生洗浄
再生
- •シリコンウェーハ再生
- •薬液リサイクル
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、新菱を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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