Ultra Clean Holdings(UCT)
半導体製造装置向けサブシステム・部品・洗浄サービスのアウトソーシング専業企業。AMAT・Lam Research・ASMLなど大手OEMを主要顧客に持つ。
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当サイトでの位置づけ
Semiraiの装置サブシステムカテゴリでは、ガス流路モジュール・チャンバー部品・洗浄サービスを通じて主要装置OEMの製造を下支えするサプライヤーとして参照されます。
企業の強み
主要装置OEM向けガス流路モジュールのトップサプライヤー
チャンバー部品の精密加工・洗浄再生サービス
垂直統合型のサプライチェーンで短納期を実現
主要製品・ソリューション
ガス供給サブシステム
- •ガスパネル
- •ガスボックス
チャンバー部品
- •プロセスキット
- •リングアセンブリ
関連装置カテゴリ
ファブインフラ・部材
ファブインフラ設備は、半導体製造装置本体の外側で、工場(ファブ)全体の稼働を支える基盤設備群を指します。
メーカー 10 社洗浄装置サブシステム洗浄装置は、半導体製造プロセスにおいてウェハ表面のパーティクル(微粒子)、金属不純物、有機物、自然酸化膜などの汚染物質を除去する最も頻繁に使用される重要な前工程装置です。
メーカー 6 社ガス供給・流量制御(MFC)ガス供給・流量制御系は、プロセスガスや特殊材料ガスを決められた流量・圧力でチャンバへ届けるサブシステムです。
メーカー 8 社消耗部品・部品洗浄/再生消耗部品・部品洗浄/再生は、プラズマやガスにさらされて徐々に劣化する装置内部品と、それらを再利用するためのサービス領域です。
メーカー 7 社半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、Ultra Clean Holdings(UCT)を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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