COMPANY DATABASE
荏原製作所
CMP（化学機械研磨）装置と半導体製造用真空ポンプ・除害装置の大手。ポンプ・精密機械・環境事業を軸に、半導体製造インフラを幅広く支える。
当サイトでの位置づけ
SemiraiのCMP・工場インフラカテゴリでは、ウェハ平坦化に不可欠なCMP装置と、FAB排気・廃水処理の真空ポンプ・除害装置を両輪で提供する企業として参照されます。
企業の強み
CMPシステムで世界シェア上位。前工程の平坦化プロセスに不可欠
ドライ真空ポンプ・スクラバーでクリーンルームの排気・除害を担う
ウェーハ研磨技術とポンプ技術の両輪でFABインフラを支援
主要製品・ソリューション
CMP装置
- •FREX（300mm CMP）
- •F-REX（先端CMP）
真空ポンプ
- •EV-Aシリーズ（ドライ真空）
- •除害装置
関連装置カテゴリ
📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、荏原製作所を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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