Advanced Energy Industries

半導体製造装置向けRF電源・直流電源・マッチングネットワークの世界的リーダー。エッチング・CVD・PVDなどプラズマプロセス装置の電源ユニットで圧倒的なシェアを持つ。

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当サイトでの位置づけ

Semiraiのエッチング・成膜カテゴリでは、プラズマプロセス装置に不可欠なRF電源・マッチングネットワークを供給する世界首位のサブシステムメーカーとして参照されます。

企業の強み

プラズマプロセス向けRF電源・マッチングネットワークで世界首位

エッチング・CVD・PVD装置のほぼ全てのアプリケーションをカバー

2019年にLumineデータセンター電源を統合し電源インフラ事業を拡大

主要製品・ソリューション

RF電源

•Ascent RF電源
•Navigator IIマッチングネットワーク

直流電源

•Pinnacle DC電源
•Paramount DC電源

Advanced Energy Industriesの製品

Paramount® RF ジェネレーター（RF電源・電源システム）

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