COMPANY DATABASE
MKS Instruments
ガス流量制御・圧力制御・RFパワー・プラズマ源など、半導体製造プロセスを支えるサブシステム機器の主要メーカー。Newport光学部門も保有。
当サイトでの位置づけ
Semiraiの成膜・エッチングカテゴリでは、プロセスチャンバーのガス流量・圧力・RF電力を精密制御するサブシステムとして装置との接点が多く参照されます。
企業の強み
マスフローコントローラ（MFC）でグローバルリーダー
RF電力供給・圧力制御・真空計測の統合ソリューション
Newport光学・レーザー技術との融合製品群
主要製品・ソリューション
ガス制御機器
- •マスフローコントローラ
- •圧力コントローラ
RF・プラズマ機器
- •RFジェネレータ
- •マッチングネットワーク
計測・光学
- •Newport光学部品
- •レーザー光源
関連装置カテゴリ
📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、MKS Instrumentsを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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