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エア・リキード(半導体)

フランスの産業ガス世界大手。半導体製造に使われる超高純度特殊ガス(フッ素・NF3・N2O・H2など)を供給。Lindeと並ぶ二大電子材料ガスメーカーの一角。

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当サイトでの位置づけ

Semiraiの特殊ガス・工場インフラカテゴリでは、超高純度NF3・F2・希ガスを半導体FABにオンサイト供給する産業ガス世界大手として、成膜・エッチング工程のガスサプライヤーとして参照されます。

企業の強み

超高純度NF3(クリーニングガス)・フッ素・希少ガス供給で世界トップ
Air Products・Lindeと並ぶ産業ガス三強の一角
半導体FABへのオンサイト供給・配管インフラ構築で長期契約

主要製品・ソリューション

特殊ガス

  • NF3(チャンバークリーニング)
  • 超高純度F2
  • N2O
  • WF6
  • 希ガス(Ar・Kr・Xe)

関連装置カテゴリ

特殊ガス
材料
ファブインフラ

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