パワー半導体 / 結晶・材料
東京農工大学 熊谷研究室
次世代パワーデバイスの材料として注目される酸化ガリウム（β-Ga2O3）の結晶成長を研究しています。HVPE 法で高純度の β-Ga2O3 を速く成長させる技術を確立し、その知財をもとにホモエピタキシャルウェハが市場に供給されています。
01基本情報
02研究テーマ
研究室の公式サイト・大学の公開資料に挙げられているテーマです。
- HVPE 法による高純度 β-Ga2O3 の高速成長
- MOVPE 法による高純度 β-Ga2O3 の高速成長と炉内の反応解析
03この研究室に関わる技術
用語集で仕組みと用途を解説しています。
04企業との共同研究
大学・企業の公式発表や研究室の公式サイトに明記された共同研究です。
- 大陽日酸（Taiyo Nippon Sanso）
- MOVPE 法による高純度 β-Ga2O3 の高速成長を大陽日酸・大陽日酸CSE と共同で実証（2023年）（根拠）
05同じ分野の研究室
研究室一覧 →06出典
2026/10/24 確認。教員の異動や研究室名の変更があるため、最新の情報は公式サイトで確認してください。