SEMICONDUCTOR EQUIPMENT
CMOSイメージセンサー製造装置メーカー4社
CMOSイメージセンサー（CIS：CMOS Image Sensor）製造装置は、光を電気信号に変換するフォトダイオードアレイを半導体プロセスで製造する装置群です。スマートフォン・自動車・医療・産業カメラなど広範な用途を持ちます。裏面照射型（BSI：Back Side Illumination）では、ウェハボンディングと極薄化（数μm）が重要工程です。積層型（Stacked）CISでは画素ウェハとロジックウェハを3D接合するハイブリッドボンディング技術が適用されます。カラーフィルター・マイクロレンズのリソグラフィ・成膜工程や、赤外線感度向上のためのゲルマニウム（Ge）混晶エピタキシャル成長など、ロジック・メモリとは異なるプロセス要件があり、専用の製造装置・材料が使用されます。
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