工場内搬送・自動化メーカー3社Factory Automation & Material Handling
工場内搬送・自動化は、ファブ内でウェハをFOUP（前開き統合ポッド）に格納したまま工程間を移動させ、保管し、各プロセス装置に投入するまでの一連の物流を無人化する装置群です。個々のプロセス装置がどれだけ高性能でも、装置間の搬送・待機がボトルネックになればライン全体のスループットは上がりません。この領域が解決するのは、(1) 人手介在によるパーティクル汚染とウェハ破損リスクの排除、(2) 工程間の待機時間とWIP（仕掛品）滞留の最小化、(3) 24時間連続稼働に耐える搬送信頼性の確保、の3点です。前工程・後工程の各プロセス装置がライン上の「点」であるのに対し、本カテゴリはそれらを結ぶ「線」を担い、クリーンルーム環境そのものを扱うファブインフラ設備とともにファブの稼働率を下支えします。
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AMHS（Automated Material Handling System）は、半導体ファブ内でFOUP（前開き統合ポッド）などにウェハを格納したまま、天井走行台車（OHT）・無人搬送車（AGV）・コンベアなどで自動搬送するシステムです。
メーカー 2 社装置管理システム（EES）装置管理システム（EES）は、製造装置から収集したセンサデータをもとに、装置の状態を監視し異常を早期に検知するソフトウェアです。
メーカー 3 社生産管理システム（MES）生産管理システム（MES）は、ファブ内のロットがどの工程にあり、次にどの装置へ流れるべきかを管理する製造実行システムです。
メーカー 2 社装置インターフェース（SECS/GEM）装置インターフェース（SECS/GEM）は、製造装置とホストコンピュータが会話するための通信規格と、それを実装するソフトウェア・ハードウェアです。
メーカー 4 社ストッカーストッカーは、半導体製造ラインにおいてFOUP（ウェハキャリア）を一時的に自動保管・管理する無人自動倉庫システムです。
メーカー 2 社オリフラ・ノッチ合わせ機オリフラ・ノッチ合わせ機（ウェハアライナー）は、ウェハ外周のノッチやオリエンテーションフラットを検出し、結晶方位を基準とした所定の角度へ回転させて位置決めする装置です。
メーカー 2 社ウェハマーキング・ID読取装置ウェハマーキング・ID読取装置は、ウェハ1枚ごとに固有の識別子を刻印し、工程内でそれを読み取る装置です。
メーカー 2 社ウェハソーターウェハソーターは、複数のキャリア間でウェハを並べ替え・移し替える装置です。
メーカー 3 社ウェハ搬送装置ウェハ搬送装置は、半導体製造ラインの各プロセス装置内・装置間でウェハを自動搬送するロボット・ハンドラー・コンベアシステムの総称です。
メーカー 10 社品質・歩留まり管理システム（YMS）品質・歩留まり管理システム（YMS）は、検査・計測・テストの結果を横断的に集約し、歩留まり低下の原因を統計的に突き止めるソフトウェアです。
メーカー 4 社重要ポイント
メーカー
3社の主要メーカー
半導体FAB向けAMHS（自動搬送システム）の世界的リーダー。OHT、Stockerなどのクリーンルーム搬送システムで24時間365日の高信頼性稼働を実現。
- •半導体FAB向けAMHSで世界トップシェア
- •24時間365日連続稼働の高信頼性システム
- •AI技術を活用した搬送効率最適化
半導体ファブ向けAMHS（OHT・ストッカー）と後工程実装周辺装置を手掛ける総合メーカー。Daifukuと並ぶクリーンルーム搬送の主要プレーヤー。
- •OHT（天井搬送システム）で世界トップクラスのシェア
- •ストッカー・自動倉庫との統合ソリューション
- •ダイボンダー・実装周辺装置の開発力
半導体ウェハ搬送・保管自動化の老舗メーカー（旧Brooks Automation）。クリーンルーム向け搬送ロボット、300mmウェハポッド管理、バイオ試料保管も展開。
- •クリーンルーム向けウェハ搬送ロボットのグローバルリーダー
- •SMIF・FOUP対応300mmウェハ保管・管理システム
- •バイオ試料低温保存（生命科学部門）との技術シナジー