SEMICONDUCTOR EQUIPMENT
工場内搬送・自動化メーカー3社Factory Automation & Material Handling
工場内搬送・自動化は、ファブ内でウェハをFOUP（前開き統合ポッド）に格納したまま工程間を移動させ、保管し、各プロセス装置に投入するまでの一連の物流を無人化する装置群です。個々のプロセス装置がどれだけ高性能でも、装置間の搬送・待機がボトルネックになればライン全体のスループットは上がりません。この領域が解決するのは、(1) 人手介在によるパーティクル汚染とウェハ破損リスクの排除、(2) 工程間の待機時間とWIP（仕掛品）滞留の最小化、(3) 24時間連続稼働に耐える搬送信頼性の確保、の3点です。前工程・後工程の各プロセス装置がライン上の「点」であるのに対し、本カテゴリはそれらを結ぶ「線」を担い、クリーンルーム環境そのものを扱うファブインフラ設備とともにファブの稼働率を下支えします。
メーカー 3 社サブカテゴリ 3 件
重要ポイント
OHT（天井走行台車）・AGVによる工程間のFOUP自動搬送を担うAMHS
ストッカーが工程間バッファとしてWIPの滞留と搬送ボトルネックを緩和
EFEM・ロードポート・搬送ロボットがプロセス装置へのウェハ投入を自動化
人手介在を排除しパーティクル汚染とウェハ破損リスクを最小化
MES（製造実行システム）と連携し搬送順序をリアルタイム最適化
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