フェローテックホールディングス

熱電モジュール・シリコン部品・石英ガラス部品など半導体製造装置向けコンポーネントの日本大手。中国での半導体部材生産にも積極投資。

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当サイトでの位置づけ

Semiraiの装置部材・熱管理カテゴリでは、サーモモジュール・シリコン部品・真空シール部品を通じて製造装置の高性能化を支えるコンポーネントサプライヤーとして参照されます。

企業の強み

サーモエレクトリックモジュールで世界シェア首位級
石英・セラミック・シリコン部品の一貫製造
中国拠点を活用した半導体部材の大規模供給体制

主要製品・ソリューション

熱電モジュール

  • •ペルチェモジュール
  • •TEC

シリコン部品

  • •シリコンリング
  • •シリコンフォーカスリング

真空シール

  • •磁性流体シール

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