当サイトでの位置づけ
Semiraiの装置部材・熱管理カテゴリでは、サーモモジュール・シリコン部品・真空シール部品を通じて製造装置の高性能化を支えるコンポーネントサプライヤーとして参照されます。
企業の強み
サーモエレクトリックモジュールで世界シェア首位級
石英・セラミック・シリコン部品の一貫製造
中国拠点を活用した半導体部材の大規模供給体制
主要製品・ソリューション
熱電モジュール
- •ペルチェモジュール
- •TEC
シリコン部品
- •シリコンリング
- •シリコンフォーカスリング
真空シール
- •磁性流体シール
関連装置カテゴリ
材料・部材
半導体材料は、ウェハ・フォトレジスト・特殊ガス・CMPスラリー・封止樹脂・リードフレーム・ボンディングワイヤなど、半導体製造の各工程で使用される多様な材料群の総称です。
メーカー 10 社ファブインフラファブインフラ設備は、半導体製造装置本体の外側で、工場(ファブ)全体の稼働を支える基盤設備群を指します。
メーカー 10 社石英・セラミック部品石英・セラミック部品は、高温・プラズマ・腐食性ガスにさらされる製造装置のチャンバー内部で使われる部材です。
メーカー 7 社消耗部品・部品洗浄/再生消耗部品・部品洗浄/再生は、プラズマやガスにさらされて徐々に劣化する装置内部品と、それらを再利用するためのサービス領域です。
メーカー 7 社単結晶製造装置(CZ/FZ)単結晶製造装置は、多結晶シリコン原料を融解し、種結晶から無欠陥の単結晶インゴットを成長させる装置です。
メーカー 3 社半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、フェローテックホールディングスを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
フェローテックホールディングス のご担当者様へ
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