マスク製造装置メーカー7社Mask Equipment

半導体マスク（レチクル）製造用の電子線（EB）描画装置の世界最大手。浜松ホトニクスグループ。EUV対応マスクブランクスへのパターン描画に不可欠な装置を提供。

• •EBマスク描画装置（マルチビームEB）で世界最大手・国内独占的地位
• •EUV世代対応の高精度マルチビームEB描画システムを展開
• •浜松ホトニクスグループの光・電子技術を基盤とした高精度光学系

電子顕微鏡・電子線描画装置・分析機器の総合メーカー。半導体分野ではマスク描画用EB装置・電子線露光装置、研究用TEM/SEMを提供。

• •電子線描画装置（JBX シリーズ）で研究・試作向け市場を牽引
• •TEM/SEMなど電子顕微鏡で世界トップシェアを持つ
• •半導体から素材・ライフサイエンスまで幅広い電子ビーム応用技術

半導体検査・計測装置の世界的リーダー。AI駆動の欠陥検出と先進データ分析により、歩留まり向上とプロセス開発を加速。

• •検査・計測装置における世界的リーダー
• •AI・データ分析を統合した先端プロセスコントロール
• •サブ10nmプロセスの欠陥検出能力

世界をリードする計測・検査技術のパイオニア。電子顕微鏡技術を核とした「見る・測る・分析する」の総合力で、2nm/3nm世代の先端半導体製造をサポート。

• •CD-SEM（測長SEM）で世界シェア約80%を占める圧倒的なポジション
• •2nm/3nm世代の先端プロセスに不可欠な計測技術を提供
• •電子顕微鏡技術を基盤とした検査・分析・加工の一貫ソリューション

EUVマスク欠陥検査装置で世界唯一のサプライヤー。半導体・FPD向け検査・計測装置の専業メーカーとして、マスク検査（MATRICS/MAGICS）・ウェーハ検査・膜厚計測装置を展開。

• •EUVマスク欠陥検査装置（MATRICS）で世界シェア100%の独占供給
• •ArF/EUV向けマスクブランクス検査（MAGICS）でも業界標準機を提供
• •高感度光学系技術を基盤に検査・計測の両領域をカバー

電子ビーム応用装置のメーカー。フォトマスクの欠陥レビューSEMやマスク欠陥修正装置、測長SEMなどを供給し、マスク製造の品質保証工程を支える。

• •電子ビーム光学系の自社設計
• •マスク欠陥のレビューと修正を担う装置群
• •測長SEMによる寸法計測にも対応

電力用変圧器・開閉装置を主力とする重電メーカー。光応用計測やレーザ加工の技術を持ち、フォトマスク関連を含む精密計測・描画分野にも製品を展開している。

• •電力機器で培った高信頼設計
• •光応用計測・レーザ技術の蓄積
• •国内一貫の設計・製造・保守体制