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ホロン

電子ビーム応用装置のメーカー。フォトマスクの欠陥レビューSEMやマスク欠陥修正装置、測長SEMなどを供給し、マスク製造の品質保証工程を支える。

🌐 日本装置メーカー公式サイト

当サイトでの位置づけ

Semirai のマスク装置カテゴリでは、フォトマスクの欠陥をレビューし修正する工程を担う国内メーカーとして位置づけられます。マスク検査で見つかった欠陥をどう処理するかの出口にあたります。

企業の強み

電子ビーム光学系の自社設計
マスク欠陥のレビューと修正を担う装置群
測長SEMによる寸法計測にも対応

主要製品・ソリューション

マスク検査・修正

  • マスク欠陥レビューSEM
  • マスク欠陥修正装置

計測装置

  • 測長SEM(CD-SEM)

関連装置カテゴリ

マスク欠陥修正装置
マスク検査装置
CD-SEM(寸法計測)
マスク製造装置

📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、ホロンを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

マスク修正とは →マスク検査とは →フォトマスクとは →CD-SEMとは →SEM(走査型電子顕微鏡)とは →
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