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レーザーテック

EUVマスク欠陥検査装置で世界唯一のサプライヤー。半導体・FPD向け検査・計測装置の専業メーカーとして、マスク検査(MATRICS/MAGICS)・ウェーハ検査・膜厚計測装置を展開。

🌐 日本装置メーカー公式サイト

当サイトでの位置づけ

SemiraiのマスクおよびEUV検査カテゴリでは、EUVマスク欠陥検査装置(MATRICS)の世界唯一のサプライヤーとして、EUVリソグラフィサプライチェーンにおける不可欠な存在として参照されます。

企業の強み

EUVマスク欠陥検査装置(MATRICS)で世界シェア100%の独占供給
ArF/EUV向けマスクブランクス検査(MAGICS)でも業界標準機を提供
高感度光学系技術を基盤に検査・計測の両領域をカバー

主要製品・ソリューション

EUVマスク検査

  • MATRICS(EUVマスク欠陥検査)
  • MAGICS(マスクブランクス検査)

ウェーハ検査

  • 光学式ウェーハ表面検査装置
  • ベアウェーハ検査装置

計測

  • 膜厚計測装置
  • 3D形状計測装置

関連装置カテゴリ

マスク検査装置
ウェハ検査装置
検査・計測装置
EUV露光装置(マスク)

📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、レーザーテックを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

マスク検査とは →ウェハ検査とは →ウェハ検査とは →
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