COMPANY DATABASE
ニューフレアテクノロジー
半導体マスク（レチクル）製造用の電子線（EB）描画装置の世界最大手。浜松ホトニクスグループ。EUV対応マスクブランクスへのパターン描画に不可欠な装置を提供。
当サイトでの位置づけ
Semiraiのマスク製造装置カテゴリでは、マルチビームEB描画装置によりEUV・ArFマスクパターンを描画する世界最大のマスクライターメーカーとして参照されます。
企業の強み
EBマスク描画装置（マルチビームEB）で世界最大手・国内独占的地位
EUV世代対応の高精度マルチビームEB描画システムを展開
浜松ホトニクスグループの光・電子技術を基盤とした高精度光学系
主要製品・ソリューション
EB描画装置
- •EBM-9000シリーズ（EUV対応）
- •EBM-8000シリーズ（ArF対応）
CVD装置
- •マスク修正用CVD装置
関連装置カテゴリ
📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、ニューフレアテクノロジーを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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