GE50A（マスフローコントローラー）

MKS のデジタル制御マスフローコントローラー。5〜50,000sccm の流量に対応し、マルチガス・マルチレンジで使える。

GE50Aとは

GE50A は、MKS の G シリーズのデジタル制御マスフローコントローラー（MFC）です。半導体製造装置でプロセスガスの流量を精密に制御する部品で、マルチガス・マルチレンジに対応します。

流量は 5〜50,000sccm に対応します。最新の MKS 制御アルゴリズムで、制御範囲全体にわたり設定値への速く再現性の高い応答を得ます。典型的な応答時間は約 500 ミリ秒、整定時間は 750 ミリ秒未満で、デジタル校正により校正ガスで設定値の 1% の精度です。

通信は RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET、DeviceNet のデジタル I/O と、0〜5VDC・4〜20mA のアナログ I/O から選べます。シールとバルブプラグは Viton、Buna、Neoprene、Kalrez から選べ、閉止時のリーク率は標準でフルスケールの 0.1% 未満です。

主な特長

•5〜50,000sccm、マルチガス・マルチレンジ
•設定値の 1% の精度
•応答約 500ms・整定 750ms 未満
•EtherCAT・DeviceNet など多様な I/O

主な仕様

流量範囲	5 ～ 50,000 sccm
精度	設定値の 1%（校正ガス）
応答	典型 500 ms、整定 750 ms 未満
通信	EtherCAT・DeviceNet・Profibus・PROFINET・RS485／アナログ

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。