PGM シリーズ（プロセスガス用レギュレータ）

メタルダイアフラムを使った CKD のプロセスガス用レギュレータ。単品配管から集積タイプまで対応する。

PGM シリーズとは

PGM シリーズは、CKD のプロセスガス用レギュレーター（減圧弁）です。半導体製造装置や薬液供給装置で、ガスの圧力を一定に調整して供給します。

設定圧力の範囲は -0.07〜0.7MPa で、PGM-30V（-0.07〜0.21MPa）から PGM-100（0〜0.7MPa）までの機種があります。流量は機種によって 20L/min、50L/min、200L/min です。真空対応の -V 型や、大流量の -H・-2H 型を含む 10 機種をそろえています。

最適化した弁座の設計で高いシール性を持ち、精密な加工で圧力のヒステリシスを小さく抑えています。微小流量の安定した制御と高い繰り返し性を持ち、プロセスの安定化に寄与します。

主な特長

•設定圧力 -0.07〜0.7MPa
•流量 20／50／200L/min
•高いシール性・小さい圧力ヒステリシス
•真空対応・大流量型を含む 10 機種

主な仕様

制御対象	供給ガス圧力（負圧～ 0.7 MPa）
構成	メタルダイアフラム式レギュレータ（20 ～ 200 L/min）
特徴	高シール性・微小流量の安定制御
主要用途	前工程のプロセスガス供給

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	MKS InstrumentsT3B 高速排気スロットルバルブ	CKDPGM シリーズ（プロセスガス用レギュレータ）
制御対象	チャンバー圧力（排気側スロットル制御）	供給ガス圧力（負圧～ 0.7 MPa）
構成	スロットルバルブ＋マイコン＋DeviceNet	メタルダイアフラム式レギュレータ（20 ～ 200 L/min）
特徴	自己チューニング・ステッピングモーター直接駆動	高シール性・微小流量の安定制御
主要用途	半導体・薄膜プロセスの圧力制御	前工程のプロセスガス供給