圧力コントローラ・流量計メーカー5社
圧力コントローラ・流量計は、装置へ供給するガスや薬液の圧力を一定に保ち、流量を監視するための機器群です。ガス系ではレギュレータと圧力コントローラで供給圧を安定させ、MFCが正しく働く前提条件を作ります。チャンバ側では圧力計と自動圧力制御バルブを組み合わせてプロセス圧力を保ち、薬液系では超音波式や差圧式の流量計が洗浄・CMP装置の供給量を監視します。接液部の材質と発塵の少なさが、パーティクルと金属汚染を抑える鍵になります。
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主要特徴
ガス・薬液の供給圧を一定に保ち流量を監視する機器群
供給圧の安定がMFCの制御精度の前提条件になる
チャンバ圧は圧力計と自動圧力制御バルブで保つ
薬液系は超音波式・差圧式流量計で接液部材質が重要
よくある質問
圧力コントローラとレギュレータの違いは？▾
レギュレータはばねとダイヤフラムで機械的に二次側圧力を一定にする減圧弁です。圧力コントローラは圧力センサと電子制御弁で、設定値に対してより高精度かつ遠隔で圧力を制御できます。
薬液用の流量計にはどんな方式がありますか？▾
配管の外から測る超音波式、オリフィス前後の圧力差から求める差圧式、羽根車式などがあります。半導体用途では発塵と金属溶出の少ないフッ素樹脂製接液部が一般的です。
メーカー
5社の主要メーカー
MKS Instruments米国
ガス流量制御・圧力制御・RFパワー・プラズマ源など、半導体製造プロセスを支えるサブシステム機器の主要メーカー。Newport光学部門も保有。
ガス制御機器
マスフローコントローラ圧力コントローラ
RF・プラズマ機器
RFジェネレータマッチングネットワーク
計測・光学
Newport光学部品レーザー光源
- •マスフローコントローラ（MFC）でグローバルリーダー
- •RF電力供給・圧力制御・真空計測の統合ソリューション
堀場製作所日本
分析・計測機器の国内大手メーカー。半導体製造向けにはガス分析計・パーティクルカウンタ・分光エリプソメータなど、プロセス管理に不可欠な計測機器を展開する。
分析・計測装置
ガス分析計パーティクルカウンタ分光エリプソメータ
- •分析・計測機器で国内大手
- •半導体プロセス向けガス分析に強み
フジキン（Fujikin）日本
超高純度対応のバルブ・継手・レギュレータを手掛ける流体制御機器メーカー。半導体プロセスガス向けのダイヤフラムバルブや、MFCを組み込んだガスボックス（ガスパネル）をユニットで供給する。
流体制御機器
ダイヤフラムバルブガスボックス（ガスパネル）レギュレータ
- •超高純度（UHP）流体制御機器の設計技術
- •ダイヤフラムバルブ・継手で高いシェア
CKD日本
空圧・流体制御機器の大手。半導体分野では超高純度ガス用バルブ、薬液用の耐薬品バルブ・ポンプ、ガスユニットを供給し、装置内の流体制御を支える。
流体制御機器
高純度ガスバルブ薬液用バルブ・ポンプガスユニット
- •空圧機器と流体制御機器の総合ラインナップ
- •半導体向け高純度・耐薬品バルブ
サーパス工業日本
薬液用のフィッティングと流体機器の総合メーカー。半導体製造装置の薬液配管に使うクイックカプラや流量センサ、ポンプを供給する。
流体部品
薬液用クイックカプラフッ素樹脂継手バルブ
計測機器
流量センサ液面センサ
- •薬液用フィッティングの専業メーカー
- •フッ素樹脂の成形技術