SAW フィルター用複合ウエハー
薄くした圧電単結晶を熱膨張の小さいシリコンに常温直接接合した複合ウエハー。接着材を使わない。
SAW フィルター用複合ウエハーとは
日本ガイシの SAW フィルター用複合ウエハーは、薄くした圧電単結晶をシリコンに貼り合わせた基板です。スマートフォンなどの SAW（表面弾性波）フィルターに使われます。
接着剤を使わずに常温で直接接合しています。熱膨張の小さいシリコンと組み合わせることで、温度変化によるフィルターの周波数のずれを抑えます。
主な特長
- •圧電単結晶とシリコンの複合構造
- •接着剤を使わない常温直接接合
- •温度による周波数変動を低減
主な仕様
| 材質・構造 | 圧電単結晶／シリコンの常温直接接合 |
|---|---|
| 特徴 | 熱膨張を抑え SAW フィルターの周波数変動を低減 |
| 主要用途 | スマートフォン等の SAW フィルター |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の製品が掲載している項目を並べています。
| 項目 | 日本ガイシ（NGK Insulators）SAW フィルター用複合ウエハー | 京セラサファイアウェハー／サファイア基板 |
|---|---|---|
| 材質・構造 | 圧電単結晶／シリコンの常温直接接合 | 単結晶サファイア（Al₂O₃） |
| 特徴 | 熱膨張を抑え SAW フィルターの周波数変動を低減 | 厚さ 0.03 mm までの薄型化・最大 Φ500 mm |
| 主要用途 | スマートフォン等の SAW フィルター | SOS（Silicon on Sapphire）・LED 結晶成長 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •スマートフォンの SAW フィルター
- •高周波フロントエンド部品
掲載カテゴリ
SAW フィルター用複合ウエハーは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
日本ガイシ（NGK Insulators）
セラミック技術を基盤とする総合メーカー。半導体製造装置向けに静電チャック（ESC）・セラミックヒーター・サセプタなど、高純度・高耐熱のチャンバー内部材を供給する。
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06