特殊基板（サファイア・LT/LN・ガラス）メーカー4社
特殊基板は、シリコンや化合物半導体以外の材料で作るウェハの総称で、サファイア・タンタル酸リチウム（LT）・ニオブ酸リチウム（LN）・水晶・ガラスなどが含まれます。サファイアはLEDやGaNデバイスの成長基板、LT・LNは圧電性を生かしたスマートフォン用SAWフィルタ、ガラスは先端パッケージのコア材やインターポーザとして使われます。用途ごとに結晶方位・厚み・表面粗さの要求が異なり、シリコンとは別の加工ノウハウが求められます。
主要特徴
よくある質問
LT・LN基板は何に使われますか？▾
ガラス基板が半導体で注目される理由は？▾
メーカー
4社の主要メーカー
ファインセラミックス技術を核とする国内大手メーカー。半導体パッケージ基板・水晶デバイス・電子部品を幅広く展開し、半導体実装の基盤材料を供給する。
- •セラミックパッケージ基板で世界トップクラス
- •水晶デバイス・電子部品にも強み
シリコンウェハ・フォトレジスト材料・塩化ビニルの世界的大手。半導体向けには300mmウェハとEUVレジスト材料でトップシェア。
- •シリコンウェハ（300mm）で世界シェア約30%
- •ArF/EUV向けフォトレジスト材料で業界首位級
セラミック技術を基盤とする総合メーカー。半導体製造装置向けに静電チャック（ESC）・セラミックヒーター・サセプタなど、高純度・高耐熱のチャンバー内部材を供給する。
- •窒化アルミ（AlN）・アルミナ系セラミックの材料技術
- •静電チャック・セラミックヒーターで高いシェア
世界最大級のガラス・化学素材メーカー。半導体分野ではEUVマスクブランク用超低熱膨張ガラス基板の主要サプライヤーで、フッ化物光学部品・EUV光学素材でも重要な役割を担う。
- •EUVマスクブランク用超低熱膨張ガラス（LTEM）基板の主要サプライヤー
- •フッ化物光学部品（CaF2レンズ）・EUV光学素材の製造技術
関連カテゴリ
化合物半導体ウェハは、GaAs・InP・GaN・サファイアなど複数元素からなる半導体基板の総称です。
メーカー 4 社エピタキシャルウェハエピタキシャルウェハは、単結晶基板の上に結晶方位を引き継いだ薄い単結晶層を成長させたウェハです。
メーカー 5 社多結晶シリコン（ポリシリコン）多結晶シリコン（ポリシリコン）は、単結晶シリコンインゴットを引き上げるための原料となる高純度シリコンです。
メーカー 3 社再生ウェハ再生ウェハは、装置調整やモニタ用途で使ったウェハの表面膜を除去し、研磨し直して再び使えるようにしたウェハです。
メーカー 4 社SiCウェハSiCウェハは、シリコンより約3倍広いバンドギャップを持つ炭化ケイ素の単結晶基板です。
メーカー 5 社シリコンウェハシリコンウェハは、半導体デバイスの大半が作り込まれる単結晶シリコンの円板です。
メーカー 6 社SOIウェハSOIウェハは、シリコン活性層と支持基板の間に埋め込み酸化膜（BOX層）を挟んだ構造の基板です。
メーカー 3 社