離子佈植與熱處理用語：台灣・中國大陸・英文對照
離子佈植把雜質打進矽裡，熱處理（退火）讓雜質活化、修復晶格。台灣說「離子佈植」「爐管」，中國大陸說「离子注入」「炉管／热处理」。
離子佈植與熱處理是什麼
離子佈植用加速的離子把硼、磷、砷等雜質打進晶圓，決定電晶體的電性。佈植後晶格受損，需要用退火讓雜質活化並修復缺陷。
台灣的「佈植」是很有特色的用語，中國大陸則說「注入」。熱處理設備在台灣的晶圓廠常直接稱為「爐管」。
離子佈植與熱處理用語表（13 個）
| 台灣用語 | 中國大陸用語 | 英文 |
|---|---|---|
| 離子佈植 | 离子注入 | Ion Implantation |
| 射束式離子佈植機 | 束线式离子注入机 | Beamline Ion Implanter |
| 電漿摻雜 | 等离子体掺杂 | Plasma Doping (PLAD) |
| 通道效應 | 沟道效应 | Channeling |
| 退火 | 退火 | Annealing |
| 尖峰退火 | 尖峰退火 | Spike Anneal |
| 雷射退火 laser 在台灣是「雷射」，中國大陸是「激光」 | 激光退火 | Laser Annealing |
| 閃光燈退火 | 闪光灯退火 | Flash Lamp Anneal (FLA) |
| 擴散爐（爐管） | 扩散炉 | Diffusion Furnace |
| 合成氣體 | 合成气体（形成气体） | Forming Gas |
| 電晶體 | 晶体管 | Transistor |
| 鰭式場效電晶體 | 鳍式场效应晶体管 | FinFET |
| 環繞式閘極 | 全环绕栅极 | Gate-All-Around (GAA) |
相關企業
- 國際電氣（KOKUSAI ELECTRIC）（批次式薄膜沉積・熱處理設備）
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最後更新：2026-10-06