薄膜沉積用語：台灣・中國大陸・英文對照
薄膜沉積是在晶圓上長出絕緣膜、導體膜與半導體膜。台灣說「沉積」「濺鍍」「磊晶」，中國大陸說「沉积」「溅射」「外延」。
薄膜沉積是什麼
主要方法有化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、原子層沉積（ALD）與磊晶成長，各自適合不同的材料、厚度與均勻度要求。
台灣業界口語也常說「長膜」。「epitaxy」在台灣是「磊晶」，中國大陸是「外延」，兩者字面完全不同；磊晶晶圓在中國大陸稱為「外延片」。
薄膜沉積用語表（13 個）
| 台灣用語 | 中國大陸用語 | 英文 |
|---|---|---|
| 薄膜沉積 | 薄膜沉积 | Deposition |
| 化學氣相沉積 | 化学气相沉积 | Chemical Vapor Deposition (CVD) |
| 電漿輔助化學氣相沉積 | 等离子体增强化学气相沉积 | Plasma-Enhanced CVD (PECVD) |
| 低壓化學氣相沉積 | 低压化学气相沉积 | Low-Pressure CVD (LPCVD) |
| 原子層沉積 | 原子层沉积 | Atomic Layer Deposition (ALD) |
| 物理氣相沉積 | 物理气相沉积 | Physical Vapor Deposition (PVD) |
| 濺鍍 | 溅射 | Sputtering |
| 磊晶 磊晶晶圓在中國大陸稱為「外延片」 | 外延 | Epitaxy |
| 有機金屬化學氣相沉積 | 金属有机化学气相沉积 | Metal-Organic CVD (MOCVD) |
| 電鍍 | 电镀 | Electrochemical Deposition (ECD) |
| 熱氧化 | 热氧化 | Thermal Oxidation |
| 高介電常數材料 | 高介电常数材料（高k） | High-k Dielectric |
| 矽晶圓 silicon 在台灣是「矽」，中國大陸是「硅」 | 硅片／硅晶圆 | Silicon Wafer |
用語解說
相關企業
- 東京威力科創（TEL）（半導體製造設備（塗佈顯影・蝕刻・薄膜沉積））
- 國際電氣（KOKUSAI ELECTRIC）（批次式薄膜沉積・熱處理設備）
- 信越化學（Shin-Etsu）（矽晶圓・光阻・半導體材料）
- 勝高（SUMCO）（矽晶圓）
- 環球晶圓（GlobalWafers）（矽晶圓）
最後更新：2026-10-06