3M Trizact 研磨墊修整器是用於整理（修整）CMP 研磨墊表面的修整碟。在精密設計之微複製結構的陶瓷上被覆鑽石，特點是在要求最嚴苛的先進節點製程中，碟片之間的差異非常小。
鑽石被覆陶瓷結構易於依微米尺度規格製造，可將研磨墊表面修整得非常平滑，沒有鑽石磨粒常見的微小刮傷。切削面不含金屬，因此也可用於對金屬汙染敏感的先進節點製程。
透過 3M 的核心技術微複製，將結構均勻地重現在修整器整個表面。尖端形狀、高度差異與圖樣可依用途廣泛選擇。廠商表示，與 3M 的 CMP 研磨墊修整器用塗層組合後，可在維持平坦性與研磨性能的同時，將金屬溶出再減少最多 99%。