3M Trizact パッドコンディショナーとは
3M Trizact パッドコンディショナーは、CMP の研磨パッドの表面を整える（目立てする）ためのコンディショナーディスクです。精密に設計したマイクロレプリケーション構造のセラミックにダイヤモンドを被覆しており、最も要求の厳しい先端ノードのプロセスでディスク間のばらつきが非常に小さいのが特長です。
ダイヤモンド被覆セラミックの構造はマイクロスケールの仕様で製造しやすく、ダイヤモンド砥粒で起こりがちな微小なスクラッチのない、非常に平滑なパッド表面に仕上げられます。切削面には金属がないため、金属汚染に敏感な先端ノードのプロセスにも使えます。
3M の中核技術であるマイクロレプリケーションにより、構造をコンディショナー表面全体に均一に再現します。先端形状、高さのばらつき、パターンを用途に合わせて幅広く選べます。3M の CMP パッドコンディショナー用コーティングと組み合わせると、平坦性や研磨性能を保ったまま金属溶出をさらに最大 99% 減らせるとしています。
主な特長
- •マイクロレプリケーションのダイヤモンド被覆セラミック構造
- •ディスク間の高い一貫性
- •メタルフリーの切削面
- •先端形状・高さ分布・パターンを用途別に選択
主な仕様
| 構造 | ダイヤモンド被覆セラミック（微細複製形状） |
|---|---|
| 特徴 | 金属フリーの切削面・T シリーズは CVD ダイヤでパッド摩耗率低下を最大 4 分の 1 に |
| 主要用途 | 金属汚染に敏感な先端ノードの CMP |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | EntegrisPlanargem® CMP パッドコンディショナー | 3M3M™ Trizact™ パッドコンディショナー |
|---|---|---|
| 構造 | 微細加工 SiC 基材＋CVD ダイヤモンドコーティング | ダイヤモンド被覆セラミック（微細複製形状） |
| 特徴 | コーティング粗さを調整可能・パッド寿命最大 2.5 倍 | 金属フリーの切削面・T シリーズは CVD ダイヤでパッド摩耗率低下を最大 4 分の 1 に |
| 主要用途 | CMP パッドの目立て（先端ノード） | 金属汚染に敏感な先端ノードの CMP |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •先端ノードの CMP パッドコンディショニング
掲載カテゴリ
3M Trizact パッドコンディショナーは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
3M
研磨材・接着材を核とする米国の総合素材メーカー。半導体分野ではCMPパッドコンディショナー用のダイヤモンドディスクや、固定砥粒方式の研磨材、各種テープ・フィルムを供給する。
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06