Paramount 是 Advanced Energy 的 RF 產生器（射頻電源）。供應用於產生・維持半導體製造設備電漿的射頻功率，用於薄膜沉積、蝕刻、佈植用途。
輸出為 3～15kW，頻率為 2～60MHz，輸入電壓可從 208／400／480VAC 中選擇。有半機架與全機架配置，高度為 3U，冷卻採氣冷與水冷混合式。
採全數位控制，支援頻率調諧、脈衝輸出與脈衝同步。即時量測功率與阻抗，並進行電弧管理與相位同步（CEX）。提高電漿穩定性與製程再現性，可快速因應電漿變化。用於蝕刻、PECVD、PVD、腔體清潔、HDP-CVD、PEALD、ALE 製程。