Paramount® RF ジェネレーター

プラズマ用 RF 電源。高アスペクト比デバイスに必要なプラズマ密度とイオンエネルギーを得る。

Paramount RF ジェネレーターとは

Paramount は、Advanced Energy の RF ジェネレーター（高周波電源）です。半導体製造装置のプラズマを生成・維持するための高周波電力を供給し、成膜、エッチング、注入の用途に使われます。

出力は 3〜15kW、周波数は 2〜60MHz で、入力電圧は 208／400／480VAC から選べます。ハーフラックとフルラックの構成があり、高さは 3U、冷却は空冷と水冷のハイブリッドです。

フルデジタル制御で、周波数チューニング、パルス出力、パルス同期に対応します。リアルタイムに電力とインピーダンスを測定し、アーク管理や位相同期（CEX）も行います。プラズマの安定性とプロセスの再現性を高め、プラズマの変化に素早く対応できます。エッチ、PECVD、PVD、チャンバークリーン、HDP-CVD、PEALD、ALE のプロセスに使われます。

主な特長

•出力 3〜15kW、周波数 2〜60MHz
•周波数チューニング・パルス・パルス同期
•リアルタイムの電力・インピーダンス測定
•アーク管理・位相同期（CEX）

主な仕様

種類	RF 電源（プラズマ用）
関連機種	Paramount Plus（多段パルス）／eVoS（非正弦波バイアス）／eVerest
主要用途	エッチング・成膜装置のプラズマ生成

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	Advanced Energy IndustriesParamount® RF ジェネレーター	ダイヘン高周波電源・自動整合器（RGA／WGA／MGA／FGA シリーズ）
種類	RF 電源（プラズマ用）	RF 電源＋自動整合器
関連機種	Paramount Plus（多段パルス）／eVoS（非正弦波バイアス）／eVerest	13.56 MHz RGA（～30 kW）／2 MHz WGA／400 kHz MGA／40.68 MHz FGA
主要用途	エッチング・成膜装置のプラズマ生成	エッチング・CVD のプラズマ生成