Tropel FlatMaster MSP 是康寧（Corning）的非接觸多面形狀量測設備。以步進頻率的干涉儀，在數秒內取得最多 300 萬點的資料。
支援最大 300mm 的晶圓，依 SEMI 規格量測平坦度、錐度、厚度變異與翹曲。除晶圓外也用於精密零件的平坦度檢測。
Tropel FlatMaster MSP的特點與規格
康寧 Tropel（Corning Tropel）・平坦度・晶圓厚度量測設備
以頻率步進干涉儀進行的多面形狀量測設備。數秒內取得最多 300 萬點。
產品概要
主要規格
| 量測方式 | 頻率步進干涉儀（非接觸） |
|---|---|
| 支援晶圓尺寸 | 最大 300 mm |
| 量測項目 | 平坦度・錐度・厚度變異・翹曲（符合 SEMI） |
| 主要用途 | 晶圓・精密零件的平坦度檢測 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
頻率步進干涉儀
數秒內量測最多 300 萬點
支援最大 300mm 晶圓
主要用途
- 晶圓的平坦度・翹曲檢測
- 精密零件的形狀量測
製造商
康寧 Tropel（Corning Tropel）（總部：美國）