Tropel® FlatMaster® MSP
周波数ステッピング干渉計による多面形状測定装置。数秒で最大 300 万点を取得する。
Tropel FlatMaster MSPとは
Tropel FlatMaster MSP は、Corning の非接触の多面形状測定装置です。周波数をステップさせる干渉計で、数秒のうちに最大 300 万点のデータを取ります。
最大 300mm のウェーハに対応し、平坦度、テーパ、厚さのばらつき、反りを SEMI 規格に沿って測ります。ウェーハのほか精密部品の平坦度検査にも使われます。
主な特長
- •周波数ステッピング干渉計
- •数秒で最大 300 万点を測定
- •最大 300mm ウェーハ対応
主な仕様
| 測定方式 | 周波数ステッピング干渉計（非接触） |
|---|---|
| 対応ウェハ径 | 最大 300 mm |
| 測定項目 | 平坦度・テーパ・厚さばらつき・反り（SEMI 準拠） |
| 主要用途 | ウェーハ・精密部品の平坦度検査 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | コーニング・トロペル（Corning Tropel）Tropel® FlatMaster® MSP | コーニング・トロペル（Corning Tropel）Tropel® UltraSort™ II | KLAPWG5™ |
|---|---|---|---|
| 測定項目 | 平坦度・テーパ・厚さばらつき・反り（SEMI 準拠） | 平坦度・厚さ・反り・SORI・ステッパシミュレーション | 応力による形状変化・厚さばらつき・表裏トポグラフィ |
| 主要用途 | ウェーハ・精密部品の平坦度検査 | ウェーハの平坦度選別 | 3D NAND・DRAM・ロジックの反り・応力管理 |
| 測定方式 | 周波数ステッピング干渉計（非接触） | 斜入射干渉計（非接触・全自動） | — |
| 対応ウェハ径 | 最大 300 mm | 2 ～ 8 インチ | — |
1機種だけが掲載している項目（1件）
| 方式 | — | — | パターン付きウェーハ形状計測 |
|---|
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •ウェーハの平坦度・反り検査
- •精密部品の形状測定
掲載カテゴリ
Tropel FlatMaster MSPは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
コーニング・トロペル（Corning Tropel）
Corning傘下の精密光学計測メーカー。ウェハ平坦度測定・フォトマスク検査用の干渉計・精密光学システムを半導体業界向けに供給する。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07