iXH Mk2的特點與規格

iXH Mk2 是 Edwards 適用半導體製程的乾式真空幫浦。設計上預設用於反應副產物多的嚴苛製程，實現較前代更長的服務壽命。

可在寬廣的溫度範圍內最佳化運轉，將幫浦內副產物的堆積降至最低。以新的幫浦密封技術延長製程中的壽命，並降低洩漏風險。也可選擇提高耐蝕性的 XCEDE 技術，電力效率較前代也大幅改善。

Edwards 的 iX 系列另有耗電最多減少 60%、耐蝕性為前系列 4 倍的低能耗 iXM 系列，以及用於晶圓傳送・PVD・量測等輕負載的 iXL 系列。