iXH Mk2とは
iXH Mk2 は、Edwards の半導体プロセス向けドライ真空ポンプです。反応副生成物が多い過酷なプロセスでの使用を想定し、前世代より長いサービス寿命を実現しています。
広い温度範囲で運転を最適化でき、ポンプ内での副生成物の堆積を最小限に抑えます。新しいポンプシール技術でプロセスでの寿命を延ばし、リークのリスクを減らしています。耐食性を高める XCEDE 技術も選べ、前世代に比べて電力効率も大きく改善しました。
Edwards の iX シリーズには、消費電力を最大 60% 減らし、耐食性を前シリーズの 4 倍にした低エネルギーの iXM シリーズや、ウェーハ搬送・PVD・計測などの軽負荷用の iXL シリーズもあります。
主な特長
- •過酷なプロセス向けで長いサービス寿命
- •広い温度範囲で副生成物の堆積を抑制
- •新しいポンプシール技術
- •XCEDE 耐食技術（オプション）
主な仕様
| 方式 | ルーツ式ドライポンプ |
|---|---|
| 特徴 | 入力電力 1.3 kW（前世代比 60% 減）・粉体処理機能 |
| シリーズ構成 | iXM／iXH／iXL |
| 主要用途 | 多層エッチング・CVD（腐食性ガス） |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
ドライ真空ポンプ：3機種の比較
| 項目 | Edwards Vacuum（Atlas Copco傘下）iXH Mk2 | 荏原製作所EV-M型 | 樫山工業NeoDry G シリーズ |
|---|---|---|---|
| 方式 | ルーツ式ドライポンプ | ドライ真空ポンプ（回転速度制御） | 空冷ドライ真空ポンプ |
| 特徴 | 入力電力 1.3 kW（前世代比 60% 減）・粉体処理機能 | 省エネ運転・最大排気量 110,000 L/min モデルあり | 静音性・水蒸気処理能力を NeoDry-E から向上 |
| シリーズ構成 | iXM／iXH／iXL | EV-M 型／EV-X 型 | NeoDry-E（7E ～ 300E）／NeoDry-G |
| 主要用途 | 多層エッチング・CVD（腐食性ガス） | エッチング・CVD・拡散 | 半導体・電子部品などの真空排気 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •CVD・エッチングなど副生成物の多いプロセスの排気
掲載カテゴリ
iXH Mk2は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
Edwards Vacuum（Atlas Copco傘下）
半導体ファブ向け真空ポンプ・排気処理（アベートメント）システムの世界大手。ドライポンプ・ブースターポンプ・PFASフリー排ガス処理まで一貫提供し、ファブのインフラを支える。
真空ポンプのほかの製品
Edwards Vacuum（Atlas Copco傘下）のほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06